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國(guó)內(nèi)薄膜沉積設(shè)備龍頭有北方華創(chuàng)和沈陽(yáng)拓荊其中,北方華創(chuàng)產(chǎn)品線覆蓋CVDPVD和ALD,沈陽(yáng)拓荊主要覆蓋CVD分產(chǎn)品來(lái)看,2020年電子工藝裝備實(shí)現(xiàn)營(yíng)收同比增長(zhǎng)5258%至4869億元,占比8040%,毛利率減少579pp至2944;敷設(shè)管形式可采用回字形或S字形,通過(guò)沈陽(yáng)市宏偉新都及其大量工程實(shí)踐證明,回形比S形敷...